첨단 in situ 극민세 측정/분석법이 요구되는 미래 친환경 나노 소자 및 소재 산업을 체계적으로 지원하고 대학과 연구소의 NT-BT-IT 융합연구 및 차세대 소재/소자 개발 연구지원을 위한 융복합 in situ 나노분석시스템을 구축할 예정입니다. (2014. 12월 구축완료 예정)
[대덕본원]
[대덕본원]
장비특성
- 첨단분석기기 + 나노소자/박막공정 결합 시스템으로 융‧복합 종합물성 분석지원
- 극미량의 신물질을 개발하는 대학‧연구소의 연구자 및 산업계 동시지원
- 차세대 전자소재, 부품, 장비의 국산화를 위한 요소기술 개발과 측정
주요 활용분야
