광분석장비개발연구유닛
광학 현미경 기반으로 반도체/디스플레이 소자 발열특성 분석장비 및 분석기술 개발
- 마이크로-전자소자 내에서 발생하는 미세한 발열의 분포를 고분해능, 정량적, 비접촉 방식으로 측정하고 영상화할 수 있는 열분석 시스템을 개발하고 이를 실증 연구를 통해 검증함으로써 광분석장비의 사업화를 추진
연구인프라
응용 분야에 최적화된 이미징/측정 광학계 하드웨어와 제어/분석 소프트웨어가 통합된 시스템을 개발하고 응용 분야에 적용할 수 있도록 정량적 성능분석과 검증을 위한 실증 연구를 수행
광학 현미경 기반 열분석 시스템 개발 및 실증 연구
대표 연구성과
| 구분 | 내용 |
|---|---|
| 삼극특허 | 공초점 열반사 현미경 기술
국내등록: 10-1555153 (2015.09) 미국등록: 10,139,284 (2018.11) 일본등록: 6370997 (2018.07) 유럽등록: 3190395 (2020.04) |
| 기술이전 | 공초점 열반사 현미경 기술이전 (2016.09, 2017.08, 2019.09) |
| 기술이전 | 광시야 열반사 현미경 기술이전 (2023.10) |
| 기술이전 | 열분석 시스템 기술이전 (2025.04) |
| 논문 | 열반사 현미경 기술 개발
IEEE Trans. Instrum. and Meas. (2020) 69(6) 2914-2923 (IF=5.6) Nanophtonics (2021) 10(13) 3433-3440 (IF=6.5) |
| 논문 | 레이저 빔모드 최적화 및 위상 대물렌즈 설계 기술
Optica (2024) 11(8), 1163-1173 (IF=8.4) Opt. Express (2023) 31(21), 34391-34403 (2023) (IF=3.2) |
| 논문 | 뇌의 뉴런-시냅스 구조 모방 다중저항 기억 반도체소자 개발
ACS Appl. Mater. Interfaces (2023) 15(8) 11296-11303 (IF=8.5) |
담당부서
광분석장비개발연구유닛