광-이온융합분석장비개발연구유닛
광-이온빔 기반 영상질량분석 시스템 개발을 통한 반도체/디스플레이에서 발생되는 미세결함 및 열화(劣化, Degradation)원인 규명연구 수행
연구내용
- 소자의 화학적 특성 분석을 위한 고분해능 2차원 영상분석 시스템 개발 및 실증연구
- 미세결함검출 및 복합분석을 위한 광원 고도제어 광이미징 기반 소자 분석 시스템 및 기술개발
- 열화원인 규명을 위한 연성식각 기반 고분해능 깊이방향 화합물 분석 기술 개발
광-이온 융합 화합물 영상분석시스템 개발 개요도
연구인프라
광학/질량 영상분석 기반의 연구장비 개발 인프라 보유
- 클러스터 이온빔 기반의 분석 기술을 바탕으로, 유기분자 계열의 생체 시료 및 디스플레이 관련 소재·소자에 대한 고정밀 분석이 가능한 영상질량분석 시스템을 개발 중이며, 동시에 기체 클러스터 이온빔(GCIB)을 활용한 표면 처리 및 전처리 기술의 국산화에도 주력
- 3차원 샘플을 위한 광간섭, 공초점, 비선형 이미징 기술을 결합하여 구조 및 분자 이미징이 가능한 다중모드 광학 현미경 시스템 및 인공지능 기반 분석기술 등을 개발하고 활용연구 수행 중
3차원 분자 영상 질량분석기
다중모드 나노 바이오 광학현미경
분석화학 연구분야 최근 연구성과(2025): 탄뎀 질량분석-레이저 분광 융합한 차세대 표면질량분석 장비(QIT-ToF-SIMS) 개발
광학현미경 연구분야 최근 연구성과(2024): 공초점 형광 현미경과 광간섭 현미경을 융합한 다중모드 광학 이미징 장비 개발
대표 연구성과
| 구분 | 내용 |
|---|---|
| 논문 |
탄뎀 질량분석-레이저 분광 융합한 차세대 표면질량분석 장비(QIT-ToF-SIMS) 개발
Anal. Chem. (2025) 97:25797 (IF=6.7, JCR 상위 8.18%) |
| 논문 |
이차이온질량분석기와 투과전자현미경을 활용한 OLED소재의 유기다층박막의 정밀두께분석법 개발
Anal. Chem. (2024) 96:12616 (IF=6.8, JCR 상위 5.66%) |
| 특허 |
기체 클러스터 이온빔 국내 최초 개발 및 출력향상을 위한 이온화원 구조 원천성 확보
국내외 특허 출원 및 등록(10-1819534, 10-2305099, 10-2736622, 등) |
| 논문 |
공초점 형광 현미경과 광간섭 현미경을 융합한 다중모드 광학 이미징 장비 개발
Opt. Laser Technol. (2024) 179:111351 (IF=4.6, JCR 상위 35.6%) |
| 논문 |
고속 이미징이 가능하면서도 섹셔닝 성능이 우수한 공초점 형광 현미경 개발
Appl. Phys. Lett. (2026) 128:013701 (IF=3.6, JCR 상위 35.6%) |
| 특허 |
구조조명을 생성하는 현미경 장치 및 이의 동작 방법
국내 특허 및 PCT 출원, KR 10-2599457, PCT/KR2023/017299 |
담당부서
광-이온융합분석장비개발연구유닛