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한국기초과학지원연구원

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초정밀광학연구유닛

초정밀광학연구유닛
  • EMPS 및 극저온 프로브스테이션을 활용한 응집물질물리(반도체, 스핀트로닉스) 연구 수행
  • 방사광 가속기용 X-선 반사경 제조기술 내재화 및 인프라 고도화
  • 차세대 광학 제조 혁신을 위한 스마트 초정밀 가공 플랫폼

연구내용

EMPS 및 극저온 프로브스테이션을 활용한 응집물질물리(반도체, 스핀트로닉스) 연구 수행

  • 차세대 노광 장비용 X-선 및 EUV 대역 자유형상 광학 부품 제조를 위한 장비·공정 핵심기술 개발
  • 반도체, 미래차, 우주·항공 등 국가 전략산업 수요 맞춤형 고부가가치 첨단 광학 부품 개발
  • 국내·외 선진 연구기관과의 산·학·연 협력 네트워크 구축을 통한 광학 기술 글로벌 경쟁력 제고

방사광 가속기용 X-선 반사경 제조기술 내재화 및 인프라 고도화

  • 빔라인 및 실험 장치용 초정밀 X-선 반사경 제조 공정 개발
  • X-선 광학 부품 및 검출기 성능 평가를 위한 전용 빔라인 구축 및 전문 장치 개발 센터로의 확장

차세대 광학 제조 혁신을 위한 스마트 초정밀 가공 플랫폼

  • AI 기반 초정밀 가공 디지털 트윈 제조 플랫폼 연구
  • 가공 효율 향상을 위한 로봇 기반 연마장비 및 통합 공정 개발
  • 설계·제조·실증 기반의 스마트 초정밀 가공 플랫폼 개발
Nautilus Array 프로젝트 (차세대 우주망원경 개발), MODE Lens 초정밀 금형 가공 (미국, Univ. of Arizona)
Nautilus Array 프로젝트 (차세대 우주망원경 개발), MODE Lens 초정밀 금형 가공  (미국, Univ. of Arizona)
다누리 프로젝트, 고해상도 달탐사용 카메라(LUTI)용 반사경 공동 개발(한국항공우주연구원)
다누리 프로젝트, 고해상도 달탐사용 카메라(LUTI)용 반사경 공동 개발(한국항공우주연구원)
SUNRISE III 프로젝트, 태양 관측 망원경용 초정밀 광학 부품 FM 개발 (독일, 막스 플랑크 태양계연구소)
SUNRISE III 프로젝트, 태양 관측 망원경용 초정밀 광학 부품 FM 개발 (독일, 막스 플랑크 태양계연구소)
X-선용 반사경 시제품 개발 및 국내 최초 빔라인 실증 (ETRI, PAL 공동연구)
X-선용 반사경 시제품 개발 및 국내 최초 빔라인 실증 (ETRI, PAL 공동연구)

연구인프라

초정밀 자유 형상 광학 부품 제작을 위한 국내 최고 수준의 공동 활용 장비·시설 구축 및 운영

  • ZEUS 장비 활용 서비스
  • (초정밀 가공) 대구경 자유형상 가공이 가능한 초정밀 다이아몬드 터닝 시스템
    • 주요 장비: Nanoform L1000 (Precitech 社), 450UPL (Moore 社)
  • (초정밀 연마) 옹스트롬(A)급 표면거칠기 및 5 nm (RMS) 형상 정밀도 확보를 위한 자기유변 유체 연마 시스템
    • 주요 장비: Q22-1200PC 및 Q-flex 300 (QED 社)
  • (초정밀 측정) 마이크로~나노 미터급 형상 오차 및 표면 정밀도 검증을 위한 통합 측정 솔루션
    • 주요 장비: 부분구경 스티칭 비구면 측정기(ASI(Q), QED 社), 동적 레이저 간섭계(S150, Äpre 社), 3차원 측정기(UA3P, Panasonic 社), 백색광 간섭계(CCI-Optics, Taylor Hobson 社)

인력

인력 - 성명,직급,역할로 구분되어 있습니다.
성명 직급 역할
김민철 선임연구원 닛장, 초정밀 광학 연구·개발 총괄, 초정밀 가공 디지털 트윈 개발, 엑스선 반사경 및 빔라인 설계 등
최환진 선임기술원 초정밀가공 및 측정 장비운영, 광학계 초정밀가공 및 측정, 초정밀 가공기술 개발
전민우 선임기술원 자기유변유체연마기(MRF) 운영, 자유형상 광부품 제작기술 개발
여우종 박사후연구원 자유형상 광부품 초정밀 가공기술 개발 및 응용연구
장비 인프라 보유 현황
장비 인프라 보유 현황

대표 연구성과

대표 연구성과 - 구분,내용으로 구분되어 있습니다.
구분 내용
논문 막스플랑크 태양계연구소 (Max Planck Institute for Solar System Research, MPS)의 태양 관측 프로젝트인 Sunrise III에 참여하여, 형상 정밀도 1.5~2.5 nm 수준의 초정밀 자유 형상 태양 관측용 반사경(Flight Model)을 개발함.

Korpi-Lagg, Andreas, et al. "Sunrise III: Overview of Observatory and Instruments." Solar Physics 300.5 (2025): 1-70. / IF=2.4, JCR 상위 44%

논문 다결정 ZnS의 결정면별 이방성을 고려한 임계 미절삭 두께 예측 모델을 개발하여, 취성 파괴 없는 완전 연성 모드 가공(Ra 0.9 nm)을 실증함.

Yeo, Woo-Jong, et al. "Effect of Crystal Structure on Material Behavior in Ultraprecision Diamond Turning of Polycrystalline Zinc Sulfide." International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 26.11 (2025): 2819-2835. / IF=3.6, JCR 상위 22%

논문 MRF 공정의 제어 한계를 고려한 표면 정제 모델(SRM)을 제안하여 공정 정확도를 약 25% 향상시키고, 9.1 nm RMS급 초정밀 비구면 가공을 실현해 산업적 효용성을 입증함.

Jeon, Minwoo, et al. "Performance enhancement of material removal using a surface-refinement model based on spatial frequency?response characteristics in magnetorheological finishing." IJAMT 135.11 (2024): 5391-5408. / IF=3.1, JCR 상위 37%

논문 다이아몬드 선삭 가공 시 발생하는 열 변형 오차를 LSTM 기반 머신러닝으로 정밀하게 예측 및 보정하여, 후속 연마 공정 없이도 광학 표면의 Waviness 오차를 효과적으로 제거

Yeo, Woo-Jong, et al. "Enhancement of optical surface quality based on real-time compensation of temperature-driven thermal errors in diamond turning." JMP 110 (2024): 424-433. / IF=6.8, JCR 상위 18%

논문 자기유변 연마(MRF) 공정의 가장자리 효과(Edge effect)를 정밀하게 예측하기 위해 edge TIF 기반의 수학적 모델을 개발, 4~7% 오차율로 유효성을 검증함.

Jeon, Minwoo, et al. "Prediction model for edge effects in magnetorheological finishing based on edge tool influence function." IJPEM 23.11 (2022): 1275-1289. / IF=3.6, JCR 상위 22%

논문 초정밀 평삭 및 사출 성형 기반의 소형 CPC 복합 포물면 집광기) 저비용 양산 기술을 개발하여, 태양전지 효율 약 10% 향상시킴.

Choi, Hwan-Jin, et al. "Manufacturing of compound parabolic concentrator devices using an ultra-fine planing method for enhancing efficiency of a solar cell." IJPEM-GT 8.5 (2021): 1405-1414. / IF=5.6, JCR 상위 12%

연구과제
(수행 중)
(주요) 방사광 분석과학 자립을 위한 X-선 반사경 제조 기술 내재화 및 시제품 실증, '25.07~'27.12
과기정통부, 가속기 활용연구사업 (김민철)
연구과제
(수행 중)
(주요) 서브나노미터급 자유형상 반사경 제조공정 고속화 기술 개발, '25.01~'26.12
과기정통부, 수탁연계지원사업 (최환진)
연구과제
(수행 중)
(수탁) 엑스선 신광원 및 맞춤 광학계를 통한 반도체 나노구조 고속 비파괴 계측기술 개발, '23.09~'27.12
과기정통부, 무인이동체원천기술개발사업, 공동연구기관 (김민철)
연구과제
(수행 중)
(수탁) 첨단 모빌리티용 대면적 윈드쉴드 디스플레이 금형 코어 개발, '25.03~'26.02
산업통상자원부, 융합혁신지원단 기술지원사업, 공동연구기관 (김민철)
연구과제
(수행 예정)
(수탁) 차세대 엑스선 리소그래피 기술 개발, 26.04~30.12
과기정통부, 기관전략개발단, 공동연구기관 (김민철)
연구과제
(종료)
(수탁) 스마트 센싱 기반 라이팅 광학부품 및 모듈기술 개발, '21.09~'24.12
산업통상자원부, 소재부품기술개발사업, 공동연구기관 (최환진)
연구과제
(종료)
(수탁) 광학융합 부품소재 산업화 기반구축, '18.04~'22.12
산업통상자원부 및 대전시, 지역산업거점기관지원사업, 공동연구기관 (최환진)
담당부서

초정밀광학연구유닛

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