저희 전주분소에서는 2003년 10월 1일부터 Spectroscopic Ellipsometer의 분석지원업무를 시작합니다. Spectroscopic Ellipsometer의 규격 및 용도는 아래와 같으며, 관심있는 분들의 많은 이용을 바랍니다.
■ 주요구성 및 성능
1. Light source : Single-Ended Quartz Halogen
(1) Operating voltage : 12 V
(2) Consuming power : 10 W 이내
(3) Measuring beam spot size : 2 x 2 mm
(4) Wavelength range : 350 nm ∼ 850 nm
2. Ellipsometer configuration type : PSCRA system(Rotating compensator type)
3. Detector type: CCD array multi-channel detector
(1) 1024 channels
(2) Measurement speed : ~5 s/spectrum
■ 응용분야 및 용도
- 박막연구에 필수적인 장비이기에 박막소재를 활용 또는 연구 제작하는 모든 분야 (화학, 물리, 신소재, 반도체, 화공, 금속, 지질, 재료, 고분자 등)에서 활용이 가능한 장비이다.
·Thickness of thin film
·Refractive index
·Multiple layer thickness
·Surface contamination
·Constituent and void fractions
·Surface and interfacial roughness
·Alloy ratios
▣ 문의 : 063-270-3976 (이해성 박사)