장비성능
사용 레이저 파장
635 nm 레이저
스캔속도
다음과 같은 스캔 속도로 실시간 이미징
- 20 fps @ 1024 x 768 pixels (Bi-directional scan)
- 10 fps @ 1024 x 768 pixels (Uni-directional scan)
스캔 방식
다음과 같이 Resonant scanner와 Galvanometer scanner에 의한 포인트 빔 스캐너 방식임.
- X축 스캐너 : Resonant Scanner (8KHz line frequency 이상)
- Y축 스캐너 : Galvanometer Scanner
스캔 해상도
1024 x 768, 1024 x 384, 1024 x 192, 1024 x 96 pixels 의 4단계로 조정 가능함. Pixel 개수가 낮을수록 스캔 이미징 속도가 비례하여 빨라짐
광 디텍터
PMT(photomultiplier tube) detector 방식
- PMT에 의한 레이저 공초점 스캔 영상과, 광학 CCD 컬러 영상이 동시에 디스플레이 됨.
측정 성능
다음과 같이 공간 분해능과 온도 분해능을 갖음.
- 횡방향 분해능 (Lateral resolution) : 0.3 um (선/공간 반복 시편 기준)
- 축방향 분해능 (Axia resolution) : 0.8 um
- 온도 분해능 (Thermal resolution) : 1℃ 이하
- 유효 열영상 해상도 (Active thermal pixel) : 1024x768 pixels
프로브스테이션
다음과 같이 1축의 모터방식 및 5축의 매뉴얼 방식의 이송 자유도를 갖추고 있음.
- 모터라이즈드 Z-스테이지 (Motorized Z-stage) : 공초점 열반사 현미경 헤드를 전동 방식에 의해 상하로 움직일 수 있어 다양한 두께의 시편에 대해서 초기 위치를 설정할 수 있음. (Stroke : 50mm)
- 현미경 이송용 매뉴얼 XY 스테이지 : 공초점 열반사 현미경 헤드가 장착된 프레임 전체를 X, Y 방향으로 이동시키기 위한 스테이지로, 시편을 고정한 상태에서 열반사 현미경 헤드를 이동시켜 관찰 영역을 변경(Stroke : 13x13 mm)
- 시편 이송용 매뉴얼 XYZ 스테이지 : 시편을 X, Y, Z 방향으로 이송할 수 있는 스테이지로 초기 시편의 위치를 찾는 용도임. (Stroke : 18x18x14 mm)
- 진공 척 : 진공 방식으로 시편을 고정할 수 있는 vacuum chuck 구조
- Micro positioner & Probe tip : Micro-positioning 장치에 연결된 probe tip 3개를 포함함.
관찰 대물렌즈 및 관찰 영역
다음 기본 대물렌즈를 포함하며, 기타 상용 표준 대물렌즈로 추가 장착 가능함.
- 대물렌즈 : 20X, 50X, 100X (long working) 배율의 대물렌즈 장착
- 매뉴얼 터렛 방식에 의한 대물렌즈 스위칭
- 광학줌 : 대물렌즈 변경 없이 최대 6X의 optical zoom 가능
- 관찰영역 : 20X 대물렌즈 기준 700um x 525um
측정 영상 분석 소프트웨어
