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Confocal Thermal Reflectance Microscope
레이저 스캐닝 공초점 열반사 현미경

CTRM700
나노스코프시스템즈
Confocal Thermal Reflectance Microscope
소자의 발열에 의한 온도 분포를 마이크로미터 수준의 현미경 분해능으로 관찰

사용 레이저 파장

635 nm 레이저

스캔속도

다음과 같은 스캔 속도로 실시간 이미징
  • 20 fps @ 1024 x 768 pixels (Bi-directional scan)
  • 10 fps @ 1024 x 768 pixels (Uni-directional scan)

스캔 방식

다음과 같이 Resonant scanner와 Galvanometer scanner에 의한 포인트 빔 스캐너 방식임.
  • X축 스캐너 : Resonant Scanner (8KHz line frequency 이상)
  • Y축 스캐너 : Galvanometer Scanner

스캔 해상도

1024 x 768, 1024 x 384, 1024 x 192, 1024 x 96 pixels 의 4단계로 조정 가능함. Pixel 개수가 낮을수록 스캔 이미징 속도가 비례하여 빨라짐

광 디텍터

PMT(photomultiplier tube) detector 방식
  • PMT에 의한 레이저 공초점 스캔 영상과, 광학 CCD 컬러 영상이 동시에 디스플레이 됨.

측정 성능

다음과 같이 공간 분해능과 온도 분해능을 갖음.
  • 횡방향 분해능 (Lateral resolution) : 0.3 um (선/공간 반복 시편 기준)
  • 축방향 분해능 (Axia resolution) : 0.8 um
  • 온도 분해능 (Thermal resolution) : 1℃ 이하
  • 유효 열영상 해상도 (Active thermal pixel) : 1024x768 pixels

프로브스테이션

다음과 같이 1축의 모터방식 및 5축의 매뉴얼 방식의 이송 자유도를 갖추고 있음.
  • 모터라이즈드 Z-스테이지 (Motorized Z-stage) : 공초점 열반사 현미경 헤드를 전동 방식에 의해 상하로 움직일 수 있어 다양한 두께의 시편에 대해서 초기 위치를 설정할 수 있음. (Stroke : 50mm)
  • 현미경 이송용 매뉴얼 XY 스테이지 : 공초점 열반사 현미경 헤드가 장착된 프레임 전체를 X, Y 방향으로 이동시키기 위한 스테이지로, 시편을 고정한 상태에서 열반사 현미경 헤드를 이동시켜 관찰 영역을 변경(Stroke : 13x13 mm)
  • 시편 이송용 매뉴얼 XYZ 스테이지 : 시편을 X, Y, Z 방향으로 이송할 수 있는 스테이지로 초기 시편의 위치를 찾는 용도임. (Stroke : 18x18x14 mm)
  • 진공 척 : 진공 방식으로 시편을 고정할 수 있는 vacuum chuck 구조
  • Micro positioner & Probe tip : Micro-positioning 장치에 연결된 probe tip 3개를 포함함.

관찰 대물렌즈 및 관찰 영역

다음 기본 대물렌즈를 포함하며, 기타 상용 표준 대물렌즈로 추가 장착 가능함.
  • 대물렌즈 : 20X, 50X, 100X (long working) 배율의 대물렌즈 장착
  • 매뉴얼 터렛 방식에 의한 대물렌즈 스위칭
  • 광학줌 : 대물렌즈 변경 없이 최대 6X의 optical zoom 가능
  • 관찰영역 : 20X 대물렌즈 기준 700um x 525um

측정 영상 분석 소프트웨어