국산장비활용랩 visual_03

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Atomic Force Microscope
원자현미경

NX10
㈜파크시스템즈 Atomic Force Microscope
물리, 화학, 재료, 생명공학, 고분자 등의 과학/기술 분야에서 표면의 극 미세한 3차원 입체구조 및 전기적, 자기적, 기계적 물성 분석

- 다양한 시료(반도체 디바이스, 세포, 금속, Graphite, 고분자, 암석 등)의 형상 측정(폭, 높이, 각도, 거칠기 등)

장비성능

※ 신청 전 담당자에게 문의 바랍니다.    - 담당자 : 전진혁 (042-865-3490)

 

☞ Micromachining으로 제작된 탐침을 시료표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 측정
☞ 대기중에서 초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체등 모든 시료의 표면 관찰

 

Scanner

  • XY Scanner Range: 50㎛ x 50㎛
  • XY Scanner Resolution: 0.05nm
  • Z Scanner Range: 15㎛
  • Z Scanner Resolution: 0.015nm

 

Sample Stage

  • 샘플 이동거리(XY): 최대 20mm x 20mm (고정밀 모터 스테이지)
  • 수평(XY) 측정영역: 50㎛ x 50㎛
  • 수직(Z) 측정 영역: 15㎛

 

Sample Size

  • 측정 샘플 사이즈: 100mm x 100mm (두께 : 최대 20mm)
  • 최대 샘플 중량: 500 g

 

Field-of-Vew

  • 480 × 360 µm
  • 고해상도디지털 CCD 카메라 : 디지털 줌 가능

 

Mode

  • Contact
  • Non-contact
  • Tapping
  • (Chemical, Thermal, Mechanical, Electrical, Optical, Magnetic, Dielectric/Piezoelectric properties)