국산장비활용랩
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장비유지보수이력
☞ Micromachining으로 제작된 탐침을 시료표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 측정☞ 대기중에서 초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체등 모든 시료의 표면 관찰