국산장비활용랩 visual_03

대덕본원

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Atomic Force Microscope (AFM)
원자현미경

NX10
㈜파크시스템즈
Atomic Force Microscope (AFM)
다양한 시료(반도체 디바이스, 세포, 금속 등)의 형상 측정

기본구성

  • AFM 콘트롤러 / 데이터 처리 시스템
  • 50 um x 50 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
  • 15um 수직(Z)스캐너
  • 20mm 고정밀도 수평(XY) 모터 스테이지
  • 고해상도디지털 CCD 카메라 : 디지털 줌 가능
  • SmartScan 데이터 수집/분석 및 다수의 측정지점에 대한 자동화 측정 소프트웨어
  • XEI 화상 이미지 처리 소프트웨어
  • 실시간 CCD 카메라 영상 이미지 표현
Contact mode용 Silicon Cantilever
Non Contact mode용 Silicon Cantilever
(Resonance Frequency : 330 kHz)