성과정보

지식재산권

지식재산권
구분 특허
기술명 (국문) 질량 분석기 및 질량 분석 방법
기술명 (영문) A MASS SPECTROMETER AND A MASS SPECTROMETRY METHOD
등록번호 10-2110688 등록일자 20200507
국가 대한민국
발명자 최명철,어재영,백지영,이상주,최창민,민부기,김일희
발명의 내용 일 실시예에 따른 질량 분석기는, 챔버, 상기 챔버의 내측에 배치되어 시료을 홀딩하기 위한 플레이트, 상기 시료에 1차 이온 빔을 주사하기 위한 이온원, 상기 1차 이온 빔의 입사에 의하여 상기 시료로부터 생성되는 2차 이온을 분석하기 위한 분석부 및 상기 시료에 축적되는 전하를 보상하기 위하여 상기 시료에 제1 기체를 주사하는 노즐부를 포함하고, 상기 시료에 주사되는 제1 기체는 상기 시료의 표면에 축적된 전하를 중성화 처리함으로써, 상기 시료의 표면의 전하를 보상시킬 수 있다.
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