성과정보

지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 광학 시편 표면 검사 장치 및 그 제어 방법
기술명 (영문) INSPECTION APPARATUS FOR SURFACE OF OPTIC SPECIMEN AND CONTROLLING METHOD THEREOF
등록번호 10-2116618 등록일자 20200522
국가 대한민국
발명자 김건희,김동욱,김이종,김홍승,정병준,장기수
발명의 내용 일 실시 예에 따른 광학 시편 표면 검사 장치는, 광학 시편으로부터 반사된 레이저의 진행 거리별로 레이저 파면 정보를 획득할 수 있다.
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