구분 : 특허
질량 분석 시스템 및 질량 분석 방법

A MASS SPECTROMETRY SYSTEM AND A MASS SPECTROMETRY METHOD

페이지 정보

등록번호
10-2339502
등록일자
2021-12-10
국가
대한민국
발명자
최명철 | 최창민 | 백지영 | 홍아람 | 민부기 | 이상주
발명의 내용
GCIB를 이용하여 유기물 시료를 스퍼터링 하면서 이차이온을 계속적으로 수집하여 분석하는 매커니즘을 이용하고, 시료를 구성하는 물질이 변화되는 것이 감지될 경우 새로운 시료에 최적화된 에너지 값으로 1차 이온 빔의 출력 세기를 조절함으로 계면 상의 정밀 분석을 실시함으로써, 분석의 효율성 및 정확성을 향상시킬 수 있음