구분 : 특허
전자현미경의 샘플홀더 기밀장치

SAMPLE HOLDER AIRTIGHT APPARATUS OF ELECTROMICROSCOPY

페이지 정보

등록번호
10-2306731
등록일자
2021-09-23
국가
대한민국
발명자
김기홍 | 권순근 | 이재종 | 최기봉 | 임형준 | 정종만 | 이상철
발명의 내용
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명을 통해 진공챔버 외부에 배치되는 홀더의 콤팩트한 구조를 만족하면서도 진공챔버 내부의 진공압이 홀더 측으로 누설되는 것을 차단할 수 있는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치를 제공할 수 있다.

본 발명은 진공챔버 외부에 배치되는 홀더의 콤팩트한 구조를 만족하면서도 진공챔버 내부의 진공압이 홀더 측으로 누설되는 것을 차단할 수 있는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 진공챔버에 결합되는 가이드컬럼; 및 샘플이 마련되는 팁이 구비되고, 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되는 홀더;를 포함하고, 상기 가이드컬럼의 내면에 결합되고, 상기 홀더의 외면을 접촉 지지하며, 상기 진공챔버 내부의 진공압이 상기 가이드컬럼 및 상기 홀더 사이로 누설되는 것을 차단하는 기밀커넥터;를 더 포함하는 특징을 개시한다.