구분 : 특허
혼합 가스 클러스터 이온 빔 생성 장치 및 이를 포함하는 질량 분석기

MIXED GAS CLUSTER ION BEAM GENERATOR AND MASS SPECTROMETER COMPRISING THE SAME

페이지 정보

등록번호
10-2305099
등록일자
2021-09-16
국가
대한민국
발명자
최명철 | 최창민 | 백지영 | 홍아람 | 이상주
발명의 내용
본 발명은 Gas Cluster Ion Beam(GCIB)을 이용한 질량분석기 및 질량분석 방법에 관한 것으로써, 이종의 기체를 혼합하여 더 높은 일차 이온 빔 밀도와 이차 이온의 이온화 효율을 높일 수 있는 방법에 관한 것임. 구체적으로 실험을 통해 확인된 실시 예로써, Argon과 CO2를 특정 비율로 혼합하여 GCIB의 이온원으로 사용할 경우, 일차 이온 빔 밀도/특성이 개선됨으로써 이차 이온 수율이 최대 4배까지 향상된다는 점을 확인함