지능형 EM연구그룹
인공지능 기반 분석기술을 전자현미경 시스템에 접목, 고해상도 미세구조 분석, 정량적 데이터 해석을 수행
- AI 분석, in-situ TEM, 3D 재구성 등을 통해 이차전지, 반도체 등 첨단소재의 구조·성능 규명 및 자동화 분석기술 개발
연구인프라
전자현미경 기반의 다양한 분석 플랫폼을 통합적으로 보유, FIB 및 전처리부터 Cryo, in-situ, 스펙트럼 분석까지 전 주기 분석을 수행할 수 있는 장비와 인력을 확보
- 김해진 박사 연구팀 2025년도 글로벌 TOP 사업단 선정 (극한 환경 적응형 이차전지 전략연구단)
보유 장비
- HVEM
- Mono Cs TEM
- Cs TEM
- Double Cs TEM
- FIB
- Cryo FIB
- 대기비개방 챔버
- in-situ TEM/SEM
- 고해상도 EELS 시스템
핵심 기술
- Cryo 환경에서의 샘플 전처리 및 손상 최소화 분석 기술(Cryo FIB-TEM 연계 분석 등)
- 대기비개방 실험(Glove Box + Anti-Air Holder) 기반의 에너지 분야 연구
- 4D STEM 기반 다차원 이미지 획득 및 조건 최적화 기술
- Ultra high resolution mono-EELS 및 노이즈 제거/정량 분석
- AI 기반 세그먼테이션, 3D 복원, 실시간 자동 해석 워크플로우 개발
초거대 AI 적용 차세대 전자현미경 원자단위 심화분석 연구
대표 연구성과
| 구분 | 내용 |
|---|---|
| 논문 | 금속-반도체-금속 구조의 2차원 반도체 소자 제작 & EM 분석(atomic STEM, EDX)
Nano |
| 논문 | LaCoO₃ 산화물 내 산소공공 거동 분석(Local strain & atomic STEM)
ACS |
| 논문 | OLED 다층박막 구조의 nm scale 분석 (mono EELS)
Analytical |
| 특허 | STEM 이미지 내 노이즈 제거를 위한 시뮬레이션·합성 엔진을 UNet 기반 실시간 구조 분석 및 디노이징 “AI 기반 STEM 디노이징”
출원번호 10-2024-0187396 |
| 기타 (언론보도) |
지능형 EM 분석기술 관련 주요 언론보도 2건 (국가연구성과 홍보 포함) |
담당부서
지능형 이차전지 전략연구단