표면물성 분야 < 나노과학 < 연구분야 < 연구개발 < 연구분야(x)

표면분석 장비를 이용하여 구리 배선의 확산방지막 공정을 최적화하였으며, 리튬이온 이차전지를 위한 산화물 반도체 및 융복합 나노구조체의 표면 특성 연구를 수행하였습니다.

구리 확산 방지용 탄탈럼 카바이드 박막 개발

원자층 증착법을 이용하여 구리확산 방지를 위한 탄탈럼 카바이드 박막 공정을 개발하였고, 표면 분석장비를 이용한 분석을 통해서 차세대 구리 확산 방지막으로 활용이 가능한 최적의 물성 특성을 확보하였습니다.

탄탈럼 카바이드 박막의 깊이 분포 분석

• 초미세 이차이온 질량분석기
• 각도분해능 X-선 광전자분광기
• 시간분해 이차이온질량분석기