컨텐츠 바로가기 영역
본문으로 바로가기
주메뉴로 바로가기


상단 타이틀 영역입니다.
한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부 FIB(Focused Ion Beam) 장비 도입 안내
이름 : 최고관리자 | 작성일 : 2010.08.05 17:29 | 조회수 : 44100
컨텐츠 영역입니다.

한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부
FIB(Focused Ion Beam) 장비 도입 안내

한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부에서는 신규장비 FIB(Focused Ion Beam)을 도입하였습니다. 기기이용자분들의 많은 이용 바랍니다.

`FIB




1. 장비명 : Focused Ion Beam(FIB)
2. 모델명 : Quanta 3D FEG
3. 제조사 : FEI company
4. 장비사양
ㅇ Electron Optics
  - High-resolution field emission -SEM column optimized for high-brightness/high-current
  - Accelerating voltage : 200V - 30kV
ㅇ Electron beam resolution
 
High-vacuum Low-vacuum Extended low-vacuum mode(ESEM)
0.8nm at 30kV (STEM)
1.2nm at 30kV (SE)
2.5nm at 30kV (BSE)
2.9nm at 1kV (SE)
1.5nm at 30kV (SE)
2.5nm at 30kV (BSE)
2.9nm at 3kV (SE)
1.5 nm at 30kV (SE)
ㅇ Ion optic
  - High-current ion column with Ga liquid-
  - Accelerating voltage : 2kV - 30kV
  - Probe current : 1pA - 65nA in 15steps
ㅇ Ion beam resolution
  - 7 nm at 30kV
ㅇ Stage
  - X = 50 mm * Y = 50mm * Z = 25mm
  - Maximum sample height = 50mm
  - T = -15° to 75°
ㅇ Accessories
  - EDS
  - GIS : Pt
  - Auto-FIB functionality for multi-site sample preparation
  - Auto-Slice and View automation software
  - cooling stage

5. Applications
ㅇ Defect Characterization
  - Slice and View
  - EDX
  - TEM Sample Preparation and take STEM image
  - Gas Enhanced Deposition and Etch



share
 

목록 : 번호, 파일, 제목, 이름, 작성일, 조회수
번호 파일 제목 이름 작성일 조회수
544 첨부파일 최고관리자 2010.11.15 38,992
543 첨부파일 최고관리자 2010.11.12 41,994
542 첨부파일 최고관리자 2010.11.08 39,665
541 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 40,682
540 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 40,442
539 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 45,510
538 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 42,636
537 첨부파일 최고관리자 2010.11.03 41,082
536 첨부파일 최고관리자 2010.11.03 37,666
535 첨부파일 최고관리자 2010.10.29 38,701
534 첨부파일 최고관리자 2010.10.22 44,069
533 첨부파일 최고관리자 2010.10.20 43,028
532 첨부파일 최고관리자 2010.10.14 41,083
531 첨부파일 최고관리자 2010.10.04 40,143
530 첨부파일 최고관리자 2010.09.15 40,856
529 첨부파일 최고관리자 2010.09.14 40,906
528 첨부파일 최고관리자 2010.09.06 41,438
527 첨부파일 최고관리자 2010.08.30 49,201
526 첨부파일 최고관리자 2010.08.09 50,900
첨부파일 최고관리자 2010.08.05 44,101