전주센터에서는 Micro X-ray/UV Photoelectron Spectromicroscopy(차세대 광전자 분광분석기)의 분석지원을 2005년 12월 1일부터 시작하오니 많은 이용을 바랍니다.
■ 원리 및 특징
XPS/UPS는 분석하고자 하는 시료에 빛을(X선 또는 자외선) 조사하여 튀어나오는 광전자를 검출기를 통하여 검출하여 시료의 구성성분을 비파괴적으로 분석할 수 있는 장비이다. 또한, 광전자의 방출시에 주위 환경에 따른 전자의 결합에너지(Binding energy)의 움직임이 존재하며, 이를 통하여 성분의 화학적 결합 형태 및 가전자띠(Valence band)에 대한 정보를 얻을 수 있다.
■ 주요 구성 및 성능
- Small spot X-ray(<10um)
- Energy Resolution : Ag 3d5/2 <0.48 eV for XPS, 100 meV for UPS with 500mm Rowland circle monochromatic X-ray source.
- Fast parallel XPS/UPS imaging resolution with snapshot mode : <3um
(˝Real time˝ chemical state mapping)
- Full charge compensation system : capable of analyzing insulators and poor
conducting materials such as both polymeric devices and relevant bio samples.
- Fully automatic large sample(3˝) loading and handing
- High speed depth profiling with the wide energy range ion gun(100eV~4keV)
- 100 channel pulse counting detector
■ 활용 분야
- Surface and interface analysis
- OLED electronic structure and its related subjects analysis.
- Electronic structure of polymers, organic materials and semiconductors.
- Quantitative and qualitative chemical analysis of variety of materials and devices.
- Metal/Organic interface studies.
- Complicated phenomena at surface. |