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춘천분소 LV-SEM 분석지원업무 시행 안내
이름 : 최고관리자 | 작성일 : 2003.09.02 16:51 | 조회수 : 35345
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한국기초과학지원연구원 춘천분소에 저 진공 상태에서 Coating, Drying등 인위적인 전 처리 없이 자연 상태 그대로의 관찰할 수 있는 저 진공 주사전자현미경(Low Vacuum Scanning Electron Microscope)을 설치하고 8월부터 본격 지원업무를 시작합니다. 기존의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)은 전자 빔이 시료에 입사하여 발생되는 2차 전자를 이용하여 ㎛이하의 입자 형상이나 표면구조의 미세한 구조를 높은 배율로 확대 관찰하는데 사용되며, 일반 광학현미경과 비교하여 분해능과 관찰영역이 우수하다. 또한 시료의 표면 관찰과 조성을 관찰함으로서 물질의 특성 및 결합을 연구하는데 사용되는 연구장비이다. 이번 춘천분소에서 설치된 저 진공 주사전자현미경의 경우 저 진공관찰(Low Vacuum Application:1~270Pa)이 가능해서 금속 Coating, Drying 등의 인위적인 전 처리과정 없이 자연 상태 그대로의 관찰이 가능하며 장비에 저 진공전용-이차전자검출기(Environmental Secondary Electron Detector)를 장착하여 고 진공상태에서만 볼 수 있었던 고화질의 이차 전자상(SE Image)을 저 진공 상태에서도 관찰할 수 있다는 것이 큰 장점이다. 이로 인해 시료 원형의 상태 그대로의 관찰뿐만 아니라, 낮은 가속전압으로 Image를 관찰함으로써 고온의 전자빔에 의한 시료 Damage의 위험성을 최소화할 수 있어 자칫 손상되기 쉬운 Bio-sample 등의 관찰이 매우 용이하게 되었다. 또한 냉각 시료대(Cooling stage module : 최대 -185˚C)로 전환할 수 있어 수분이 일정량 이상 함유된 시료나 동결이 필요한 시료등의 관찰에 사용하여 보다 폭 넓은 응용분야의 시료 연구에 기여 할 수가 있다. 그리고 에너지 분산형 X-선 분석기(Energy Dispersive X-ray, EDX)가 장착되어 있어, SEM 관찰중인 미소부위영역에 조성되어 있는 원소(분석영역 : 4Be~92U)의 정성 및 정량 분석, 원소 분포도 (조성에 따른 점, 선, 면) 분석이 가능하다. 특히 성분에 따라 Particle Size를 측정, 미세조직의 크기와 입자들의 분포상태를 정밀 분석하는 Software를 이용하여 생명공학분야를 비롯한 많은 관련분야의 연구 지원을 가능케 한다. 이번 춘천분소에 설치된 저 진공 주사전자현미경의 본격가동으로 강원권 및 수도권지역의 연구자들에게 신속하고 다양한 연구지원을 제공할 수 있을 것으로 기대하고 있다. ☎ 문의처 : 춘천분소 손경덕 연구원 (033) 250-7276 skt77@kbsi.re.kr
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