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EPMA 분석지원 시작(2004. 4. 1) | |||
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이름 : 최고관리자 | 작성일 : 2004.03.29 14:42 | 조회수 : 36237 |
저희 한국기초과학지원연구원 전주분소에서는 2004년 4월 1일(목)부터 Electron probe Micro-Analyzer의 분석지원을 시작하고자 하오니 많은 이용 바랍니다. ■ 한글 장비명 : 전자현미 분석기 ■ 영문 장비명 : Electron probe Micro-Analyzer ■ 모델명 : EPMA 1600 ■ 제작회사명 : Shimadzu Corporation ■ 주요 활용 기대 분야 - 지구과학분야 : 암석학, 광물학 및 광상학을 위한 기초자료 광물성분분석을 통한 변성정도 미량원소분석을 통한 연대측정. 광물성분분석을 통한 지온, 지압계. - 재료공학 금속공학 및 자원공학 : 합성된 금속, 재료 및 광물소재의 정량분석 반도체 박막의 정량분석 합성된 나노물질에 대한 정량 및 비교분석 - 기타 응용분야 : 물리, 화학, 화공 자동차 및 고분자, 생물, 의학, 약학 등 ■ 장비 일반 원리 및 특징 : 직경 1㎛의 전자빔을 시료에 충돌시켜, 시료로부터 발생되는 X-선의 세기를 검출하여 시료의 구성원소를 분석하는 장비로서, 미세 영역에 대해 비 파괴로 원소분석을 실시하며, 빠른 분석자료 획득이 가능하다. ■ 주요 성능 및 구조 • 4 channels WDS and EDS • Accelerating Voltage and Current (max.): 30 KeV, 1 ㎂ • Qualitative and Quantitative analysis from B (z=5) to U (z=92) • Detection Limit : 10 ppm under normal condition (15KeV, 20nA) • Precision (external) : ±0.5% for major elements • Recording Image : SEI, BSEI and X-ray image (×100 - ×50,000), Optical • image (transmitted and reflected, ×500) • Line Profile of X-ray and Mapping : min. interval - 0.1㎛, max. channel - 1024 ×1024 ■ 사용예 - 광물의 화학조성, 생성환경 및 상 평형 연구 - 암석 및 광물의 생성연대 측정 - 미세구조의 화학조성분석, 원소확산 및 분포 - 각종재료(신소재, 금속, 전자 및 반도체)의 화학특성분석 - 생물세포 및 의약품의 화학조성분석 |
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