KBSI, 신개념 연구장비 개발·사업화 성과 인정 받아

공초점 열반사 현미경 개발 및 상용화’로 연구장비 국산화에 기여

6.13.(목), 2018년도 출연(연) 10대 우수 연구성과 시상식에서 수상

 한국기초과학지원연구원(이하 KBSI, 원장 신형식) 장기수 광분석장비개발연구부장이 2018년도 출연(연) 10대 우수 연구성과 시상식에서 과학기술정보통신부 장관상을 수상했다. ‘공초점 열반사 현미경 개발 및 상용화’ 기술로 반도체와 디스플레이 소자의 발열 특성을 측정, 분석하는 장비 국산화에 기여한 공로를 인정받은 것으로 시상식은 6월 13일(목) 오후 1시 30분 한국식품연구원에서 열렸다.

 KBSI 연구장비개발본부 광분석장비개발연구부 장기수·김동욱 박사팀이 개발한 공초점 열반사 현미경은 레이저 빛을 이용해 마이크로 크기 전자소자의 내외부 발열을 입체적으로 측정할 수 있는 연구장비이다. 기존의 적외선 방식 열영상 현미경에 비해 분해능(해상도)이 10배 가량 뛰어나다. 소자 표면 뿐 아니라 내부 발열분포까지 측정이 가능한 최초의 장비로, 반도체, 디스플레이 등 국내 주력산업의 발열문제 해결에 많이 활용될 것으로 기대된다. 2017년 기술이전에 이어 2018년 제품이 출시되며 국내대학과 연구기관에 즉시 판매가 이루어져 사업화 성과가 우수한 것도 선정의 주요한 요인이다.

 개발책임자인 KBSI 장기수 부장은 “공초점 열반사 현미경은 세상에 없던 신개념 연구장비”라며 “기술이전 이후에도 사업자·이용자와 지속적으로 협력하며 상품성 향상을 위해 노력한 점을 인정받은 것 같다”고 소감을 밝혔다.