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광분석장비개발연구부

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자유형상 광학계 초정밀 가공 및 측정 기술 개발, 차세대 광학현미경 시스템 개발을 수행하고 있습니다.

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주요 업무 및 수행연구

  • 초정밀 가공 테크숍 운영
  • 자유형상 광학계 초정밀 가공 및 측정기술 개발
  • 다중모드 나노바이오 광학현미경 개발

대표적 연구사례

대면적 자유형상 광학계 고속 측정기 개발 및 상용화

  • 300 mm 직경 자유형상 광학계의 형상을 2 μm (PV) 형상정밀도로 1분 이내에 측정이 가능한 대면적 자유형상 고속 측정기를 개발하였으며, 기업으로 기술이전을 통해 상용화하였음
  • 대면적 자유형상 광학계 고속 측정기 시작품대면적 자유형상 광학계 고속 측정기 시작품