컨텐츠 바로가기 영역
본문으로 바로가기
주메뉴로 바로가기


공지사항

Home 알림마당 공지사항

공지사항 < 알림마당

상단 타이틀 영역입니다.
한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부 FIB(Focused Ion Beam) 장비 도입 안내
이름 : 최고관리자 | 작성일 : 2010.08.05 17:29 | 조회수 : 44053
컨텐츠 영역입니다.

한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부
FIB(Focused Ion Beam) 장비 도입 안내

한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부에서는 신규장비 FIB(Focused Ion Beam)을 도입하였습니다. 기기이용자분들의 많은 이용 바랍니다.

`FIB




1. 장비명 : Focused Ion Beam(FIB)
2. 모델명 : Quanta 3D FEG
3. 제조사 : FEI company
4. 장비사양
ㅇ Electron Optics
  - High-resolution field emission -SEM column optimized for high-brightness/high-current
  - Accelerating voltage : 200V - 30kV
ㅇ Electron beam resolution
 
High-vacuum Low-vacuum Extended low-vacuum mode(ESEM)
0.8nm at 30kV (STEM)
1.2nm at 30kV (SE)
2.5nm at 30kV (BSE)
2.9nm at 1kV (SE)
1.5nm at 30kV (SE)
2.5nm at 30kV (BSE)
2.9nm at 3kV (SE)
1.5 nm at 30kV (SE)
ㅇ Ion optic
  - High-current ion column with Ga liquid-
  - Accelerating voltage : 2kV - 30kV
  - Probe current : 1pA - 65nA in 15steps
ㅇ Ion beam resolution
  - 7 nm at 30kV
ㅇ Stage
  - X = 50 mm * Y = 50mm * Z = 25mm
  - Maximum sample height = 50mm
  - T = -15° to 75°
ㅇ Accessories
  - EDS
  - GIS : Pt
  - Auto-FIB functionality for multi-site sample preparation
  - Auto-Slice and View automation software
  - cooling stage

5. Applications
ㅇ Defect Characterization
  - Slice and View
  - EDX
  - TEM Sample Preparation and take STEM image
  - Gas Enhanced Deposition and Etch



share
 

공지사항 목록 : 번호, 파일, 제목, 이름, 작성일, 조회수
번호 파일 제목 이름 작성일 조회수
544 첨부파일 최고관리자 2010.11.15 38,939
543 첨부파일 최고관리자 2010.11.12 41,934
542 첨부파일 최고관리자 2010.11.08 39,598
541 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 40,636
540 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 40,388
539 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 45,453
538 첨부파일 최고관리자 2010.11.05 42,582
537 첨부파일 최고관리자 2010.11.03 41,030
536 첨부파일 최고관리자 2010.11.03 37,610
535 첨부파일 최고관리자 2010.10.29 38,643
534 첨부파일 최고관리자 2010.10.22 44,011
533 첨부파일 최고관리자 2010.10.20 42,967
532 첨부파일 최고관리자 2010.10.14 41,029
531 첨부파일 최고관리자 2010.10.04 40,087
530 첨부파일 최고관리자 2010.09.15 40,798
529 첨부파일 최고관리자 2010.09.14 40,851
528 첨부파일 최고관리자 2010.09.06 41,386
527 첨부파일 최고관리자 2010.08.30 49,145
526 첨부파일 최고관리자 2010.08.09 50,846
첨부파일 최고관리자 2010.08.05 44,054