컨텐츠 바로가기 영역
본문으로 바로가기
주메뉴로 바로가기


차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템

Home 연구활동선도연구장비차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템 장비활용내용

장비활용내용 < 차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템 < 선도연구장비

  • 차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템 이미지
  • 차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템 일러스트

장비소개

오염 없는 소재/소재의 제작 및 분석이 가능한 8종의 공정장비와 7종의 첨단 분석장비가 초고진공 이송시스템으로 연결되어, 미래 친환경 나노소재/소자산업의 체계적인 지원 및 대학과 연구소와의 융합연구의 기반이 되는 국가적 공동활용 연구장비로 운영하고 있습니다.

장비특성

  • 공정장비로 제작된 금속/세라믹/반도체 나노소재의 물성(성분, 구조, 형태, 전기/화학적 특성)분석이 시료의 공기 노출 없이 이루어짐
  • Recipe 기반의 자동화 공정 장비와 실시간 분석이 가능한 시스템
  • 공기에 노출 없이 소자 제작이 가능하여 operando 환경에서 전기적/화학적 특성 분석 수행

대표연구성과

R2R법을 이용한 대면적 MoS2 성장법 개발 및 성장메커니즘 규명

  • 이차원 반도체 물질로 각광받고 있는 MoS2를 Roll-to-Roll법을 이용하여 50 cm 길이로 성장시키는 방법을 개발하고, 광전자분광법과 Raman mapping을 통해 대면적 성장 및 화학적 조성 균일도를 분석함. 이를 이용해 제작한 전계효과트랜지스터 (FETs)가 0.6 cm2V-1s-1의 전자 이동도와 103의 on-off ratio에 도달함을 확인함
  • R2R법을 이용한 MoS2 합성법 개발 이미지 R2R법을 이용한 MoS2 합성법 개발
  • 라만분광기를 활용한 대면적 MoS2 성장 확인 및 분석 이미지 라만분광기를 활용한 대면적 MoS2 성장 확인 및 분석

APXPS를 이용하여 MoS2의 산화과정 중 표면 일함수 변화 측정 이미지APXPS를 이용하여 MoS2의 산화과정 중 표면 일함수 변화 측정

주요 활용분야

  • 대면적 그래핀 분석 플랫폼 이미지 대면적 그래핀 분석 플랫폼
  • 배터리 소재 분석 플랫폼 이미지 배터리 소재 분석 플랫폼

기상 촉매에 대한 반응 과정 in situ 표면 분석 플랫폼 이미지기상 촉매에 대한 반응 과정 in situ 표면 분석 플랫폼

장비활용 대표 우수논문

  • Catalytic Synergy on PtNi Bimetal Catalysts Driven by Interfacial Intermediate Structures
    T.-S. Kim, J. Kim, H.C. Song, D. Kim, B. Jeong, J. Lee, J.W. Shin, R. Ryoo, J.Y. Park
    ACS Catal. 10 (2020) 10459–10467. DOI: 10.1021/acscatal.0c02467.
  • In situ work-function measurement during chemical transformation of MoS2 to MoO3 by ambient-pressure x-ray photoelectron spectroscopy
    D. Lee, J. Hyuck Jang, W. Song, J. Moon, Y. Kim, J. Lee, B. Jeong, S. Park,
    2D Mater. 7 (2020) 025014. DOI: 10.1088/2053-1583/ab6780.
  • High-Efficiency Solution-Processed Inorganic Metal Halide Perovskite Light-Emitting Diodes
    H.C.Cho, C.Wolf, J.S.Kim, H.J.Yun, J.S.Bae, H.Kim, J.-M.Heo
    S.ahn, T.-W.Lee. Adv. Mater. 2017. 1700597. DOI: 10.1002/adma.201700579
  • Triangular black phosphorus atomic layers by liquid exfoliation
    S.Seo, H.U.Lee, S.C.Lee, Y.S.Kim, H.Kim, J.Bang, J.H.Won, Y.Kim
    B.Park. J.Lee. Sci. Rep. 2016. 6. 23736. DOI: 10.1038/srep23736
  • Strain relaxation of graphene layers by Cu surface roughening
    J.H.Kang, J.Moon, D.J.Kim, Y.Kim, I.Jo, C.Jeon, J.Lee
    B.H.Hong. Nano. Lett. 2016. 16. 5993-5998. DOI : 10.1021/acs.nanolett.6b01578
  • Stable semiconductor black phosphorous (BP)@titanium dioxide (TiO2) hybrid photocatalysts
    H.U.Lee, S.C.Lee, J.H.Won, B.-C.Son, S.Choi. Y.Kim, S.Y.Park, H.-S.Kim, Y.-C.Lee
    J.Lee. Sci. Rep. 2015. 5. 8691. doi:10.1038/srep08691
  • Formation of Frustrated Lewis Paris in Ptx-Loaded Zeolite NaY
    H.Lee, Y.N.Choi, D.-W.Kim, M.Rahman, Y.I.Kim, I.H.Cho, H.W.Kang, J.-H.Seo, C.Jeon
    K.B.Yoon. Angewandte. Chemie. 2015. 127. 13272-13276. DOI : 10.1002/anie.201506790.
  • One-Step Synthesis of N-doped Graphene Quantum Sheets from Monolayer Graphene by Nitrogen Plasma
    J.Moon, J.An, U.Sim, S.-P.Cho, J.H.Kang, C.Chung, J.-H.Seo, J.Lee, K.T.Nam
    B.H.Hong. Adv. Mater. 2014. Vol(26). 3501-3505 DOI: 10.1002/adma.201306287
  • Photoluminescent carbon nanotags from harmful cyanobacteria for drug delivery and imaging in cancer cells
    H.U.Lee, S.Y.Park, E.S.Park, B.Son, S.C.Lee, J.W.Lee, Y.-C.Lee, K.S.Kang, M.I.Kim, Y.G.Park. S.Choi, Y.S.Huh, S.-Y.Lee, K.-B.Lee, Y.-K.Oh, J.Lee Sci.
    Rep. 2014. 4. 4665 DOI : 10.1038/srep04665
  • Innovative three-dimensional (3D) eco-TiO2 photocatalysts for practical environmental and bio-medical applications
    H.U.Lee, S.C.Lee, Y.-C.Lee, B.Son, S.Y.Park, J.W.Lee, Y.-K.Oh. Y.Kim, S.Choi. Y.-S.Lee, J.Lee. Sci.
    Rep. 2014. 4. 6740 doi:10.1038/srep06740
  • Rotated domains in chemical vapor deposition-grown monolayer graphene on Cu(111):an angle-resolved phtoemission study
    C.Jeon, H.-N.Hwang, W.-G.Lee, Y.G.Jung, K.S.Kim, C.-Y.Park, C.-C.Hwang.
    Nanoscale. 2013. Vol(5). 8210-8214. DOI: 10.1039/C3NR01700A
  • N-doped Monolayer Graphene Catalyst on Silicon Photocathode for Hydrogen Production
    U.Sim, T.-Y.Yang, J.Moon, J.An, J.Hwang, J.-Y.Seo, J.Lee, K.Y.Kim, J.Lee, S.Han, B.H.Hong, K.T.Nam.
    Energy Environ. Sci. (2013). Vol(6). 3658-3664. DOI : 10.1039/C3EE42106F

담당자 및 설치장소

  • 주담당자 : 전철호(cjeon@kbsi.re.kr/042-865-3915)
  • 부담당자 : 정범균(bjeong@kbsi.re.kr/042-865-3676)
  • 주소 : 대전 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 대덕본원 연구2동 179호