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차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템

Home 연구활동선도연구장비차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템 장비활용내용

장비활용내용 < 차세대 융복합 인시츄 나노분석 시스템 < 선도연구장비

장비소개

오염 없는 소재/소재의 제작 및 분석이 가능한 8종의 공정장비와 7종의 첨단 분석장비가 초고진공 이송시스템으로 연결되어, 미래 친환경 나노소재/소자산업의 체계적인 지원 및 대학과 연구소와의 융합연구의 기반이 되는 국가적 공동활용 연구장비로 운영하고 있습니다.

장비특성

  • 공정장비로 제작된 금속/세라믹/반도체 나노소재의 물성(성분, 구조, 형태, 전기/화학적 특성)분석이 시료의 공기 노출 없이 이루어짐
  • Recipe 기반의 자동화 공정 장비와 실시간 분석이 가능한 시스템
  • 공기에 노출 없이 소자 제작이 가능하여 operando 환경에서 전기적/화학적 특성 분석 수행

대표연구성과

R2R법을 이용한 대면적 MoS2 성장법 개발 및 성장메커니즘 규명

  • 이차원 반도체 물질로 각광받고 있는 MoS2를 Roll-to-Roll법을 이용하여 50 cm 길이로 성장시키는 방법을 개발하고, 광전자분광법과 Raman mapping을 통해 대면적 성장 및 화학적 조성 균일도를 분석함. 이를 이용해 제작한 전계효과트랜지스터 (FETs)가 0.6 cm2V-1s-1의 전자 이동도와 103의 on-off ratio에 도달함을 확인함
  • R2R법을 이용한 MoS2 합성법 개발
  • 라만분광기를 활용한 대면적 MoS2 성장 확인 및 분석

APXPS를 이용하여 MoS2의 산화과정 중 표면 일함수 변화 측정

주요 활용분야

  • 대면적 그래핀 분석 플랫폼
  • 배터리 소재 분석 플랫폼

기상 촉매에 대한 반응 과정 in situ 표면 분석 플랫폼

장비활용 대표 우수논문

  • Catalytic Synergy on PtNi Bimetal Catalysts Driven by Interfacial Intermediate Structures
    T.-S. Kim, J. Kim, H.C. Song, D. Kim, B. Jeong, J. Lee, J.W. Shin, R. Ryoo, J.Y. Park
    ACS Catal. 10 (2020) 10459–10467. DOI: 10.1021/acscatal.0c02467.
  • In situ work-function measurement during chemical transformation of MoS2 to MoO3 by ambient-pressure x-ray photoelectron spectroscopy
    D. Lee, J. Hyuck Jang, W. Song, J. Moon, Y. Kim, J. Lee, B. Jeong, S. Park,
    2D Mater. 7 (2020) 025014. DOI: 10.1088/2053-1583/ab6780.
  • High-Efficiency Solution-Processed Inorganic Metal Halide Perovskite Light-Emitting Diodes
    H.C.Cho, C.Wolf, J.S.Kim, H.J.Yun, J.S.Bae, H.Kim, J.-M.Heo
    S.ahn, T.-W.Lee. Adv. Mater. 2017. 1700597. DOI: 10.1002/adma.201700579
  • Triangular black phosphorus atomic layers by liquid exfoliation
    S.Seo, H.U.Lee, S.C.Lee, Y.S.Kim, H.Kim, J.Bang, J.H.Won, Y.Kim
    B.Park. J.Lee. Sci. Rep. 2016. 6. 23736. DOI: 10.1038/srep23736
  • Strain relaxation of graphene layers by Cu surface roughening
    J.H.Kang, J.Moon, D.J.Kim, Y.Kim, I.Jo, C.Jeon, J.Lee
    B.H.Hong. Nano. Lett. 2016. 16. 5993-5998. DOI : 10.1021/acs.nanolett.6b01578
  • Stable semiconductor black phosphorous (BP)@titanium dioxide (TiO2) hybrid photocatalysts
    H.U.Lee, S.C.Lee, J.H.Won, B.-C.Son, S.Choi. Y.Kim, S.Y.Park, H.-S.Kim, Y.-C.Lee
    J.Lee. Sci. Rep. 2015. 5. 8691. doi:10.1038/srep08691
  • Formation of Frustrated Lewis Paris in Ptx-Loaded Zeolite NaY
    H.Lee, Y.N.Choi, D.-W.Kim, M.Rahman, Y.I.Kim, I.H.Cho, H.W.Kang, J.-H.Seo, C.Jeon
    K.B.Yoon. Angewandte. Chemie. 2015. 127. 13272-13276. DOI : 10.1002/anie.201506790.
  • One-Step Synthesis of N-doped Graphene Quantum Sheets from Monolayer Graphene by Nitrogen Plasma
    J.Moon, J.An, U.Sim, S.-P.Cho, J.H.Kang, C.Chung, J.-H.Seo, J.Lee, K.T.Nam
    B.H.Hong. Adv. Mater. 2014. Vol(26). 3501-3505 DOI: 10.1002/adma.201306287
  • Photoluminescent carbon nanotags from harmful cyanobacteria for drug delivery and imaging in cancer cells
    H.U.Lee, S.Y.Park, E.S.Park, B.Son, S.C.Lee, J.W.Lee, Y.-C.Lee, K.S.Kang, M.I.Kim, Y.G.Park. S.Choi, Y.S.Huh, S.-Y.Lee, K.-B.Lee, Y.-K.Oh, J.Lee Sci.
    Rep. 2014. 4. 4665 DOI : 10.1038/srep04665
  • Innovative three-dimensional (3D) eco-TiO2 photocatalysts for practical environmental and bio-medical applications
    H.U.Lee, S.C.Lee, Y.-C.Lee, B.Son, S.Y.Park, J.W.Lee, Y.-K.Oh. Y.Kim, S.Choi. Y.-S.Lee, J.Lee. Sci.
    Rep. 2014. 4. 6740 doi:10.1038/srep06740
  • Rotated domains in chemical vapor deposition-grown monolayer graphene on Cu(111):an angle-resolved phtoemission study
    C.Jeon, H.-N.Hwang, W.-G.Lee, Y.G.Jung, K.S.Kim, C.-Y.Park, C.-C.Hwang.
    Nanoscale. 2013. Vol(5). 8210-8214. DOI: 10.1039/C3NR01700A
  • N-doped Monolayer Graphene Catalyst on Silicon Photocathode for Hydrogen Production
    U.Sim, T.-Y.Yang, J.Moon, J.An, J.Hwang, J.-Y.Seo, J.Lee, K.Y.Kim, J.Lee, S.Han, B.H.Hong, K.T.Nam.
    Energy Environ. Sci. (2013). Vol(6). 3658-3664. DOI : 10.1039/C3EE42106F

담당자 및 설치장소

  • 주담당자 : 전철호(cjeon@kbsi.re.kr/042-865-3915)
  • 부담당자 : 정범균(bjeong@kbsi.re.kr/042-865-3676)
  • 주소 : 대전 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 대덕본원 연구2동 179호




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