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원자분해능 전자구조 주사투과전자현미경

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장비활용내용 < 원자분해능 전자구조 주사투과전자현미경 < 선도연구장비

  • 원자분해능 전자구조 주사투과전자현미경 이미지

장비소개

수차보정기와 단색기를 장착한 원자분해능 전자구조 주사투과전자현미경(Mono Cs STEM) 이미지와 “초고분해능 전자에너지손실분광” 분석법으로 재료의 “원자레벨 구조분석, 전자구조분석” 등 반도체 산화물 및 나노소재 결함 분석 뿐만 아니라, 경우에 따라서는 고분자, 바이오 재료 등에 활용 될 수 있음. 다양한 기초과학 및 융복합 과학분야에 전문 연구지원 장비로 운영되고 있습니다.

장비특성

  • 장비의 가속전압은 60, 80, 200kV가 가능.
  • STEM 이미지 분해능 0.08 nm (@200kV)의 원자레벨 이미지 가능.
  • 최신 단색기를 적용하여 EELS zero loss 분해능 < 36 meV (@200kV).

담당자 및 설치장소

  • 주담당자 : 장재혁 (jhjang@kbsi.re.kr/042-865-3947)
  • 부담당자 : -
  • 주소 : 대전 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 대덕본원 전자현미경동 B114호